目前，MEMS傳感器及微系統(tǒng)的應用主要分為低成本產品，如智能手機、平板設備等消費性應用，需要的溫度、壓力、濕度、陀螺和加速度傳感器等；低功耗的產品，如用于公共安全、環(huán)境監(jiān)測物聯網節(jié)點信息的溫度、壓力、濕度、氣體、風速和風向采集的MEMS傳感器等；高可靠產品，如用于汽車電子的MEMS傳感器等：高端的高價格產品，如用于各種工業(yè)、礦業(yè)、油田、航空航天等控制的MEMS傳感器等；特種需要的產品，如MEMS生物芯片產品，用于醫(yī)學檢查。從上面幾種傳感器應用需求可以看出，多功能的傳感器組合應用將替代單一功能MEMS器件。

　　物聯網市場需求，是MEMS技術的多學科交叉特點得到充分發(fā)揮的例子。要實現一個特定范圍內特定參數監(jiān)測、數據分析和傳輸，不僅需要低功耗的MEMS傳感器進行信息采集，也需要能夠將這些信息進行轉換并傳輸出來的接口。在無人監(jiān)控區(qū)，傳感器節(jié)點要能夠持續(xù)工作，MEMS傳感器采集信號、集成的ASIC電路進行信號轉化和處理、RF-MEMS將信號發(fā)射出去、MEMS電池提供各節(jié)點單元工作的能源。

　　多功能復合傳感器和集成了信號處理與轉換電路的集成傳感器由于便于使用，所以市場情況最為明朗。MEMS技術可以實現集成傳感器，可以將輔助電路中的元件和傳感元件集成在一塊芯片上，因而具有校準、補償、自診斷以及網絡通信的功能。如將溫度、壓力、濕度、陀螺、加速度和磁強計作為一個多功能傳感器，采用兩片式封裝或是疊層封裝與模擬ASIC和數字ASIC組成一個集成傳感器。

　　在集成傳感器基礎上，可以實現智能化，智能化傳感器是微型計算機和傳感器相結合的成果。它兼有檢測、判斷與信息處理的功能。智能化傳感器與傳統(tǒng)傳感器相比，具有很多鮮明的特點，如自診斷和自校準功能，判斷和信息處理功能；可以對測量值進行修正、誤差補償，從而提高測量精度；還可以實現多傳感器多參數測量，測量的數據可存取，有數據通信接口，可以與微型計算機直接通信。

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