MEMS加速度傳感器廣泛應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備、工業(yè)設(shè)備、消費(fèi)電子產(chǎn)品和汽車電子等領(lǐng)域,主要用來測量終端產(chǎn)品的加速度和減速度。

　　終端產(chǎn)品運(yùn)動模式加速(包括平移運(yùn)動，如位置和方向的改變)、震動、沖擊、傾斜和旋轉(zhuǎn)。除了旋轉(zhuǎn)之外，其它四種運(yùn)動實事上都是加速度在不同時間段的表現(xiàn)。震動可被認(rèn)為是迅速且周期性發(fā)生的加速和減速運(yùn)動。類似的，沖擊則是瞬間發(fā)生的加速，但是不同于震動，沖擊是一種非周期性運(yùn)動，一般只發(fā)生一次。與震動和沖擊相比，傾斜運(yùn)動的發(fā)生往往相當(dāng)緩慢。

　　由于前四種模式的運(yùn)動感測各自都與加速度有某種關(guān)系，它們可通過“g力”(地球引力)來測量，g是萬有引力對地球上物體產(chǎn)生的單位力。MEMS加速度傳感器通過測量重力對加速度傳感器軸的作用力來檢測傾斜度。以3軸加速度傳感器為例，三個不同的輸出分別測量運(yùn)動的X、Y和Z軸加速度。

　　時下占市場最大份額的加速度傳感器使用差分電容測量g力，接著g力被轉(zhuǎn)換成電壓或數(shù)據(jù)位，最后被傳遞到微處理器上以便執(zhí)行某種行為。近來在技術(shù)上取得的進(jìn)步，使業(yè)界能制造出低g和高g感測范圍的微型MEMS加速度傳感器，且比以往產(chǎn)品的帶寬更高，從而大大增加了潛在應(yīng)用領(lǐng)域。低g感測范圍是指低于20g，這可以涉及到人類能產(chǎn)生的運(yùn)動。高g則用于感測與機(jī)器或交通工具有關(guān)的運(yùn)動—也就是人類沒法產(chǎn)生的運(yùn)動。

　　　　　　　　　　　　　　

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